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标准号:GB/T 41153-2021
未生效 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
标准组织:中国国家标准,中国国家标准 |
语种:中文 |
CCS分类:半金属及半导体材料分析方法 |
ICS分类:金属材料试验 |
发布日期:2021-12-31 |
实施日期:2022-07-01 |
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标准摘要 : |
发布单位 : |
归口单位 :全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
起草单位 :中国电子科技集团公司第四十六研究所 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、山东天岳先进科技股份有限公司 |
起草人 :马农农 、何友琴 、陈潇 、刘立娜 、何烜坤 、李素青 、张红岩 |
出处 : |
备注 : |
