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标准号:GB/T 41064-2021
未生效 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
Surface chemical analysis—Depth profiling—Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films
标准组织:中国国家标准,中国国家标准 |
语种:中文 |
CCS分类:基础标准与通用方法 |
ICS分类:化学分析 |
发布日期:2021-12-31 |
实施日期:2022-07-01 |
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标准摘要 : |
发布单位 : |
归口单位 :全国微束分析标准化技术委员会 |
起草单位 :清华大学 、中国石油大学（北京） |
起草人 :姚文清 、段建霞 、杨立平 、王雅君 、李展平 、徐同广 、王岩华 |
出处 : |
备注 : |
