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标准号:GB/T 40577-2021
未生效 集成电路制造设备术语
Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
标准组织:中国国家标准,中国国家标准 |
语种:中文 |
CCS分类:电子工业生产设备综合 |
ICS分类:电子电信设备用机电零部件 |
发布日期:2021-10-11 |
实施日期:2022-05-01 |
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标准摘要 : |
发布单位 : |
归口单位 :全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
起草单位 :中国电子技术标准化研究院 、浙江晶盛机电股份有限公司 、中电科电子装备集团有限公司 、北京北方华创微电子装备有限公司 、中微半导体设备（上海）股份有限公司 、上海微电子装备（集团）股份有限公司 、东莞市中镓半导体科技有限公司 、江苏卓远半导体有限公司 |
起草人 :张军华 、冯亚彬 、曹可慰 、曹建伟 、裴会川 、朱亮 、周哲 、武小娟 、杜若昕 、唐彩红 、丁晓民 、傅林坚 、魏唯 、田涛 、刘英斌 、李国平 、王宏智 |
出处 : |
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