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标准摘要 :

发布单位 :

归口单位 :

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位 :

无锡市产品质量监督检验院 、上海赛夫特半导体材料有限公司 、青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司 、江苏中能硅业科技发展有限公司 、新疆新特新能材料检测中心有限公司 、无锡市分析测试学会 、中国电子技术标准化研究院 、无锡市计量测试院 、乐山市产品质量监督检验所 、洛阳中硅高科技有限公司 、中节能太阳能科技（镇江）有限公司 、集萃新材料研发有限公司 、常州大学 、福建省计量科学研究院 、上海材料研究所 、苏州博飞克分析技术服务有限公司

起草人 :

何莉 、杨君 、王美娟 、蒋威 、丁彬斌 、鲍军 、刘晓霞 、鲁文锋 、王旭辉 、王彬 、王赶强 、梁洪 、楚东旭 、邱艳梅 、马昀锋 、黄国平 、王桃霞 、薛小强 、罗海燕 、马冲先 、何永强

出处 :

备注 :