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标准号:YS/T 23-2016
现行有效 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
标准组织:行业标准,有色金属行业标准 |
语种:中文 |
CCS分类:金属物理性能试验方法 |
ICS分类:金属材料试验 |
发布日期:2016-04-05 |
实施日期:2016-09-01 |
作废日期 :
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被替代标准 : |
替代关系 :全部代替 |
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标准摘要 :本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。 本标准适用于在（111）、(100) 和(110) 晶向的硅单晶衬底上生长的 2μm～120μm硅外延层厚度的测量。 |
发布单位 :工业和信息化部 |
归口单位 : |
起草单位 : |
起草人 : |
出处 :制造业 |
备注 : |
