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标准号:GB/T 14602-2014
现行有效 电子工业用气体 氯化氢
Gases for electronic industry—Hydrogen chloride
标准组织:中国国家标准,中国国家标准 |
语种:中文 |
CCS分类:工业气体与化学气体 |
ICS分类:工业气体 |
发布日期:2014-12-22 |
实施日期:2015-07-01 |
作废日期 :
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被替代标准 : |
替代关系 :全部代替 全部代替 |
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替代标准 : |
替代关系 : |
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被采用标准 : |
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采用标准 : |
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引用标准 : |
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修改记录 : |
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标准摘要 : |
发布单位 : |
归口单位 :全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
起草单位 :北京华宇同方化工科技开发有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、佛山市华特气体有限公司 、光明化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、上海仪盟科技有限公司 |
起草人 :张吉瑞 、孙福楠 、杜汉盛 、方华 、周鹏云 、杨任 |
出处 : |
备注 : |
