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标准号:GB/T 14603-2009
现行有效 电子工业用气体 三氟化硼
Gases for electronic industry - Boron trifluoride
标准组织:中国国家标准,中国国家标准 |
语种:中文 |
CCS分类:工业气体与化学气体 |
ICS分类:工业气体 |
发布日期:2009-10-30 |
实施日期:2010-05-01 |
作废日期 :
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被替代标准 : |
替代关系 :全部代替 |
作废日期: |
替代标准 : |
替代关系 : |
作废日期: |
被采用标准 : |
采用关系 : |
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采用标准 : |
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引用标准 : |
引用关系 : |
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修改记录 : |
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标准摘要 : |
发布单位 : |
归口单位 :全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
起草单位 :核工业理化工程研究院 、大连光明化工研究院 、西南化工研究设计院 |
起草人 :邓建平 、倪志强 、孙福楠 、周鹏云 |
出处 : |
备注 : |
