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标准号:GB/T 14602-1993
作废 电子工业用气体 氯化氢
Gases for electronic industry--Hydrogen chloride
标准组织:中国国家标准,中国国家标准 |
语种:中文 |
CCS分类:工业气体与化学气体 |
ICS分类:工业气体 |
发布日期:1993-08-26 |
实施日期:1994-07-01 |
作废日期 :
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作废日期: |
替代标准 : |
替代关系 :全部代替 |
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修改记录 : |
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发布单位 : |
归口单位 :全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
起草单位 :化工部西南化工研究院 |
起草人 : |
出处 : |
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